-
1.
英文專有名詞介紹
2.
General
(
一般專有名詞
)
3.
英
文
專
有
名
詞
5.
LCD (Liquid Crystal Display)
7.
Glass,
substrate or glass substrate
9.
TFT(Thin Film
Transistor)
11.
P
anel
13.
A
rray
4.
中
文
說
明（數字表示有詳註）
6.
液晶顯示器
*
註
.
8.
玻璃基版
*
註
.
10.
薄膜電晶體
< br>*
註
.
12.
面板
14.
排列
,
指在玻璃基板上做
TFT
的製程
15.
L
CD
-Array
16.
C
ell
17.
液晶填充製程
……
.
分為
18.
L
C
D
-FEOL
（
Cell
前段）
19.
L
CD
-BEOL
（<
/p>
Cell
後段含
Cell
Tester
）
20.
M
odule
21.
模組
,
指後段組裝製程
22.
L
CM
23.
M
onitor
25.
P
ixel
26.
X
GA
:
e
X
tended
24.
監視器
28.
像素
*
註
.
G
raphics
29.
PS.
像素越多表示解析度越高
A
rray=1024*768Pixels
27.
S
XGA
:
S
uper XGA=1280*1024Pixels
30.
C
omputer
32.
N
otebook
34.
R
GB (Red, Green, Blue)
31.
電腦
33.
筆
記
型電腦（簡稱為
NB
）
35.
指紅綠藍三原色
36.
P
M
(Preventive Maintenance)
38.
Q
uality
40.
S
tandard
42.
M
aterial
44.
Y
ield
46.
C
IM
(Computer
37.
預防保養
39.
品質
41.
標準
(
指作業標準或品質指標
)
43.
材料
45.
良率
Integration
47.
<
/p>
電腦整合製造（指以電腦系統整合
製造流程）
49.
工廠自動化
51.
出口
53.
預防措施
55.
警告
57.
緊急
59.
警報
Manufacturing)
48.
F
A
(Factory Automation)
50.
E
xit
52.
P
recaution
54.
W
arning
56.
E
mergency
58.
A
larm
60.
C
lean Room
(
潔淨室專有名詞
)
61.
英
文
專
有
名
詞
63.
C
lean room
65.
P
article
62.
中
文
說
明
64.
潔淨室
***
註
.
66.
微粒子
***
註
.
67.
H
EPA
(High
Efficient
Particulate
Air)
68.
高
效能粒子空氣過濾網
filter
69.
C
ontamination
71.
T
emperature (TEMP)
73.
H
umidity
75.
P
ressure
77.
U
PW (Ultra-Pure Water)
79.
D
IW (De-Ionized Water)
81.
I
PA (Isopropyl Alcohol)
83.
S
ticky mat
85.
C
leanliness
87.
E
SD (Electro-static
Discharge)
89.
L
aminar flow
91.
T
urbulent flow
93.
A
lcohol
95.
A
cetone
97.
P
article
99.
D
ust
101.
Gowning room
103.
Raised floor
(grating floor)
105.
Air shower
70.
污染
72.
溫度
74.
濕度
76.
壓力
78.
超純水
80.
去離子水
82.
異丙醇
84.
腳踏黏墊
***
註
.
86.
潔淨度
88.
靜電破壞
***
註
.
90.
層流（流體力學名詞）
92.
擾流（流體力學名詞）
94.
酒精
96.
丙酮
98.
微粒子
100.
102.
104.
106.
灰塵
換衣間
***
註
.
高架地板
***
註
.
氣浴室
***
註
.
107.
Prohibit
108.
禁止
無塵衣
***
註
.
手套
網帽
頭罩
口罩
無塵鞋
109.
Clean
suit
(bunny
suit,
dust-free
110.
garment)
111.
Glove
113.
Hairnet
115.
Hood
117.
Mask
119.
Clean shoes (dust-free shoes, boots)
112.
114.
116.
118.
120.
121.
Factory
Automation
(
工廠自動化專有名詞
)
122.
英
文
專
有
名
詞
123.
125.
127.
129.
131.
中
文
說
明
運輸工具或載具
自動搬運車
人力搬運車
天井傳送車
線性感應馬達傳送載具
124.
Vehicle
126.
AGV
(Automatic Guided Vehicle)
128.
MGV (Manual
Guided Vehicle)
130.
Clean lifter
132.
LIM (Linear Induction Motor) Carrier
133.
134.
OHS
(Overhead Shuttle)
136.
Stocker (clean depot)
138.
Battery
140.
Bay
142.
Bumper
144.
Charger
135.
天車或稱軌道車
137.
139.
141.
143.
145.
存放
Cassette(
架子
)
的暫存區
電池
作業區
保險槓
充電器
146.
Controller
148.
Conveyor
150.
Crane
152.
FFU (Fan
Filter Unit)
154.
Host
156.
I/O (Input / Output)
158.
Inter-bay
160.
Intra-bay
162.
IR (Infra-
Red)
164.
IRIF(Infra-Red InterFace)
166.
Load
168.
Unload
170.
Magnetic
tape
172.
POSEIDON
174.
Retrieve
176.
RTM (Rotary Transfer Machine)
178.
SCARA arm
180.
Reset
182.
Transportation
147.
149.
控制器
輸送帶
151.
吊車（在
< br>Stocker
內）
153.
風扇過濾器
155.
157.
159.
161.
163.
165.
167.
169.
171.
主機
輸入
/
輸出
作業區和作業區之間
作業區之內
紅外線
紅外線介面
進料
卸貨
AGV
路徑所使用的磁條
173.
海神生產作業系統
175.
177.
【電腦】檢索
,
擷取
(
資料
)
旋轉傳送機
179.
AGV
之傳送手臂
181.
183.
重新設定
傳輸
184.
*
註
.OPI(Operation
POSEIDON
Instruction)
海神生產作業系
統專有名詞介紹
185.
英
文
專
有
名
詞
186.
188.
中
文
說
明
程式
,<
/p>
製程參數
187.
Recipe
189.
Stock out
191.
Request
193.
Transfer
195.
Instruction
197.
Select
199.
Cancel
201.
Operation
203.
Support
205.
Process
207.
Start
209.
Comp.
211.
Batch
213.
Lot
190.
將
Cassette
取出
192.
請求
,
要求
194.
196.
198.
200.
202.
204.
206.
208.
傳送
,
運送
命令
,
指令
選擇
取消
作業
,
操作
支援
製程
開始
210.
Completion
的縮寫
,
意指完成
212.
214.
批量
指生產線上的在製品或產品
,
簡
稱「貨」
215.
ID
(Identity)
217.
Sheet
216.
識別碼
(
如
Lot ID
or Chip ID)
218.
片
(Array
區
玻
< br>璃
基
版
計
數
單
位
)***
註
.
219.
Chip
221.
Inspection
220.
<
/p>
片
(Cell
區玻璃計數單位
)***
註
.
222.
檢驗
223.
Defect
225.
Production
227.
Hold
224.
226.
228.
缺陷
生產
留置在當站製程
（如有品質問題
時）<
/p>
229.
Release
231.
Equipment
233.
Tool
235.
WIP (Work In Process)
237.
Maintenance
239.
Cassette
241.
Empty
243.
Reserve
245.
Report
247.
Scrap
249.
Rework
251.
Log on
253.
Log off
255.
Note
257.
259.
261.
230.
將
hold
住的貨放行
,
釋出
232.
設備（簡稱
為
EQP
）
234.
236.
238.
240.
242.
244.
246.
248.
250.
252.
254.
256.
258.
260.
262.
工具
,
機台
在製品（製程在製品）
維修保養
裝在製品的架子
***
註
.
空的
預約
報告
報廢
重工
登帳
除帳
註解
263.
265.
267.
269.
271.
273.
275.
277.
279.
281.
283.
285.
287.
Array
段製程專有名詞介紹
288.
英
文
專
有
名
詞
289.
291.
293.
295.
297.
299.
301.
303.
264.
266.
268.
270.
272.
274.
276.
278.
280.
282.
284.
286.
中
文
說
明
材料
金屬
靶
鎢化鉬
鉬
銦錫氧化物
鋁
290.
Material
292.
Metal
294.
Target
296.
MoW (Moly-tungsten)
298.
Mo
(Molybdenum)
300.
ITO (Indium Tin Oxide)
302.
Al
(Aluminum)
304.
AlNd(Aluminum
Neodymium
Alloy)
306.
Reticle or Mask
308.
Detergent
(LH-300)
and
305.
鋁和釹的合金以上皆為濺鍍機金屬靶的材料
之一
307.
309.
光罩
界面活性劑的一種（清洗機用來
清洗玻璃表面
用
LH-300
為供應商
型號）
311.
< br>含
NH4F
與
HF
，為清洗機用來清洗玻璃表面氧
310.
LAL-50
化層的化學溶液
313.
312.
O
3
（
Ozone
）
臭氧，主要為各製程用來清除有機物的污染或
殘留
315.
乙酸正
丁酯，主要用來清洗旋轉塗佈光阻時殘
314.
NBA (1-butyl Acetate)
留在玻璃邊緣的光阻液
316.
Resist or
P
hoto
R
esist
318.
HMDS
體，用以增加光阻塗佈時對晶片表面之附著力
321.
帶靜電防止劑（
ESD-Preventer
< br>）
，在上光阻機
320.
AC-1
內使用，防止靜電產生，破壞玻璃元件
323.
322.
TMAH
(
供應商型號為
KTM-25)
廠內所使用之顯影液
324.
Oxalic Acid
(H
2
C
2
O
4
)
326.
DHF
< br>蝕刻
7PEP
中的
SiNx
膜
328.
ITO-Etchant
329.
成份中含鹽酸
HCl
及硝酸
HNO
3
，
主要用來蝕刻
325.
草酸，濕蝕刻機中用來蝕刻
5
PEP
中的
a-ITO
膜
327.
成份為
49%
氫氟酸
HF
，主要為濕蝕刻
機中用來
Tetra-Methyl Ammonium Hydroxide
的簡寫，為
317.
光阻（簡稱
PR
）
319.
Hexamethyldi
silazane
的簡寫，為一種化學中間
7PEP
中的
Poly-ITO
331.
成份中含氟化銨
NH4F
及
HF
，主要用
來蝕刻
330.
BHF
7
PEP
中的
SiON
332.
Al-Etchant
333.
成份中含乙酸
CH
3
COOH
、磷酸
H
3
PO
4
及硝酸
HNO
3
，主
要用來蝕刻
Mo/Al/Mo
的沈積層
335.
異丙醇
Isopropyl Alc
ohol
的簡稱，主要用來作
334.
IPA
為設備擦拭液，
在去光阻製程
中亦用來清除玻璃基
板上的有機殘留物（如光阻或去光阻液）
337.
去光阻液，
N-300
為廠商型號，成份為單乙醇
336.
N-300
銨與單丁醚的混合物
339.
(
製程
)
氣體…目前大多數種類的氣體，多為提
< br>338.
(Process) Gas
供
CVD
，
Sputter
及乾蝕刻電漿源之用
340.
SiH
4
342.
NH
3
344.
N
2
O
346.
PH
3
348.
N
2
350.
H
2
352.
NF
3
354.
Kr
341.
343.
345.
347.
矽甲烷……製程氣體（洩漏有爆炸危險）
氨……製程氣體
笑氣……製程氣體
磷化氫……製程氣體
349.
氮氣……製程氣體，常用為
破真空
Vent
或吹乾
的媒介
351.
氫氣……製程氣體
353.
氟化氮……製程氣體，
常用為清除
CVD
反應室
< br>壁沈積矽
Si
媒介
355.
氪氣……製程氣體，用來轟擊濺鍍機上的金屬