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从上世纪90年代后期逐步热起来的微电子专业，目前依然热度不减。各大高校顺应微电子产业的发展需要
，纷纷成立独立的微电子系和学院，开办了许多与集成电路产业关系密切的二级学院(如北京大学的软件与微电子
学院、电子科技大学成都学院等等)。以下将介绍国内数所开设有微电子研招专业的院校，以及它们的研究方向，
供参考。
清华大学微电子所
全国微电子学领域首个重点学科点
清华大学微电子学研究所成立于198
0年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研
究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个
重点学科点。
【硬件环境】两条集成电路工艺加工线
清华大
学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要
用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiG
e微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOSMPW(MO
S多项目晶圆)服务。
【师资科研】器件和设计实力最强
清
华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中，该所器件和设计实力最强
，研究资金丰厚。
器件方向，主要强在理论，其研究方向包括新器件结构与模
型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微
纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括ME
MS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内
惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。
工艺方向，包括了研究传统的CM
OS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任
主任，工艺室更名为集成室，由潘立阳任主任。该组的主要研究方向是：深亚微米集成电路制造、SiGe技术、
非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成电路生产自动化控制等。
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br>设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公司、研究所以及国内外fou
ndry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术(原大唐总裁魏少军
在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。集成电路与
系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模
拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。
CAD技术
研究室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结
构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存
储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(
IC-CAM系统)研发等。
【招生信息】
清华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为30~4
0人。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北
京、深圳两地招收工程硕士人数总共为大研考理学类总分数线的都可以转报微电子工程硕士，工程硕士招生总人数
为100人。
天津大学电子科学与技术系
以传感器为主的科研特色
天津大学微电子专业隶属于电子信
息工程学院，下设两个机构：天津大学专用集成电路(IC)设计中心和半导体传感器研究室。该所拥有全套的C
adence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服务器、工作站等。
天大微电子所的科研特色主要是以传感器为主，有3个主要的研究课题组：专用集成电路与
MEMS设计课题组，带头人是姚素英教授，组成员有李斌桥、赵毅强、张为和肖夏等，其课题研究领域很广，包
括了ASIC、射频集成电路、数模混合集成电路设计、半导体传感器(压力、光电)、MEMS系统集成以及测
试和可靠性方向。其中李斌桥教授系清华电子工程系博士，在加拿大Dalsa Inc的研究与开发部任首席科
学家。新型半导体器件课题组，带头人是毛陆虹教授，包括张世林、梁惠来等，主要的研究课题包括通信集成电路
、光电集成电路、化合物半导体研究等等。军用电子材料与元器件小组，带头人是李玲霞教授，主要有SOICM
OS和BiCMOS方面的研究，也有一些光电子器件和集成的研究。
天大微电子专业每年的招
生人数保持在50人左右，其中保送生有15人左右(2007年实际招生57人，其中保送生15人)。
中科院微电子所、微系统所和半导体所
以研究员为科研主力中科院和微电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，
这3个所的师资、资金实力在国内同行中处于领先水平。
微电子所：核心设备
国内一流中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线，“高密度等离子
体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重
大专项；微细
加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOL
JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制版系统以及和微细加
工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在
北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。
该所目前共有
7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯
与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计
开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也很合理。
【招生信
息】
微电子所2007年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电
子所要争取硕士招生人数达到60人。
微系统所：两室五组，科研领域广
中科院微系统所拥有：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验
室(隶属MEMS组)、信息功能材料国家重点实验室(隶属材料组)。
微系
统所主要有5个研究组：王跃林教授的MEMS组，下有微系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEM
S传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片等；宋志棠的材料组，拥有化合物半导体器件工艺平台
和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变存储器、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理
；另外3个组是SOI组、无线组和能源(电池)组。
除了这5个主要的研究
组外，还有两个单独的课题组是RF和DNA。微系统所在科研成果的产业化方面很有特色，在不久前揭晓的国家
科学技术奖评选中，该所的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。
微系统所的一个最大特点在于研究涉及的领域很广，各个研究室之间相对独立而又
不乏合作。整个微系统所是一个很完善的系统，部门之间又有EDA与网络信息中心作为公共支撑。该所给学生提
供的助研金比较多，差不多是其他科研院所的两倍，甚至其硕士生的助研金比别的单位的博士生都高。
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【招生信息】
微系统所每年招生75人左右，其中大
部分在微电子与固体电子学(47人)和通信与信息系统(20人)，毕业生主要就业方向是国内外的大公司，如
AGILENT、华为等。
半导体所：主要研究物理器件
微
电子专业最初是从半导体专业中分离出来的，目前的中科院半导体所依然保留有微电子研究和发展中心，该中心主
要从事同微电子相关的半导体器件和电路的研究，包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路、S
iC高温半导体器
件、微电子机械系统(MEMS)、磁存储器(MRAM)、
共振隧穿二极管(RTD)和系统集成芯片(SOC)设计及应用。可以看出，半导体所的主要优势在于深厚的物
理理论基础，主要研究领域还是器件方向，擅长半导体光电子和微电子器件。
半导体所微电子中
心每年招收的研究生不多，但毕业去向都很不错，主要去向为国内外知名公司，成为如北京华虹NEC、上海先进
半导体等公司的IC设计部门的技术骨干。
电子科技大学微
电子与固体电子学院
排头兵中的尖兵
电子
科技大学位于具有“天府之国”美誉的成都，是“211”和“985”名校之一，在2006年中国高校国际学
术会议排名中名列第四，被誉为“我国电子类院校的排头兵”。其微电子与固体电子学院拥有一支以中科院院士陈
星弼领衔的包括16名博士生导师、27名教授在内的雄厚师资力量，与国内外相关公司、高校和研究机构有着广
泛的合作关系。
【硬件环境】新建FAB工艺线
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br>电子科大微固学院的硬件设施相当不错，有国家重点实验室电子薄膜与集成器件实验室、集成电路设计中心
和纳米技术中心，还有最新建成的FAB工艺线——微细加工基地(6英寸，线宽为0.35um)。
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【师资科研】功率器件和功率电路研究突出
电子科大
微电子专业最主要的特色在功率器件和功率电路方面，科研方向主要有功率器件与智能功率集成电路、微电子器件
与集成电路、ULSI集成电路设计/ASIC设计与应用。功率器件与智能功率集成电路方向，由陈星弼院士和
张波教授分别领导的小组研究，但侧重点有所不同：陈院士的科研小组主要研究功率器件、功率电路、电源管理和
相关的一些模拟电路；张波教授科研小组的研究方向有电源管理(功率器件+功率电路)和功率器件(传统硅基器
件以及新材料比如SiC基的功率器件)。微电子器件与集成电路方向在年轻的于奇教授的带领下，主要集中开发
模拟电路，也有锗硅器件、ADDC等研究方向。李平教授近年来的研究项目有电源管理、汽车电子、单片机芯片
设计、铁电存储器、FPGA等，更集中于数电。
【招生信息】
微电子专业最近两年的招生人数保持在110人左右，其中保送生约占15%。报考该专业
的考生，如果发挥不好，则有优先权可以转到固体电子专业，另外也可以转到工程硕士的集成电路方向，相应的录
取分数线可以降低60~70分。
据悉，近两年转到集成电路方向的学生比较
多。
东南大学射光所和微电子所
优势互补
，各有所长
东南大学的微电子研究比较特殊，既有以射频闻名的射光所，又有
在MEMS方向颇具实力的微电子所。射光所下属于在无线电系，
而微电子所则
下属于电子工程系。两个研究所各有所长，优势互补。
射光所：国内知名的高技术研究中心
射光所，即射频光电集成电路研究所，是由教育部和东南大学在1997年联合筹建的高技术研究所
，属“211”工程项目。在国家教育部、科技部等有关方面的支持下，如今已发展成为国内外知名的射频与超高
速光电集成电路人才培养和高技术研究中心。
东南射光所的前任所长，同时也
是创建人的王志功教授，是从德国归国工作的微电子光电子专家，在国内射频和光电集成电路方面的造诣首屈一指
，在学术界也享有盛名。
射光所的主要研究方向包括射频集成电路、微波毫米
波集成电路、光电集成电路、光纤通信集成电路、ULSI、生物用集成电路等等。射频集成电路方向主要由李智
群博士负责，研究内容包括移动通信及无线接入系统用射频集成电路，包括低噪声放大器、混频器、振荡器、功率
放大器等。微波毫米波集成电路设计方向由王志功教授亲自负责，研究内容涉及HEMT移相器、GaAs
HBT 压控振荡器和单片集成电路上的关键元件的研究等。光电集成电路方向，是射光所的一大特色，主要是关
于光电转换一系列集成电路技术的研究。生物用集成电路技术，是将集成电路技术和生物学医学相结合的一个方向
，射光所在这方面的研究也是很有优势的。
微电子所：MEMS教育部重点实
验室
东南大学微电子所建有国家专用电路系统工程技术研究中心和微电子机械
系统教育部重点实验室，其MEMS实验室属于教育部重点实验室。黄庆安教授的《硅微机械加工技术》，到目前
为止还是国内最好的MEMS中文参考书。由于没有自己的生产加工线，黄老师把研究重点放到了不太耗资金但前
景不错的MEMS CAD方向，具体包括VLSI器件物理与新型器件研究、超大规模集成电路与系统CAD设
计与应用、智能传感与微电子机械系统研究和微电子系统与专用集成电路设计和固态电子学及其技术。
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【招生信息】
综合来看，射光所强在电路，而微电子
所强在器件，一个学校两个部门都具有相当实力，不能不说是东南大学的一大特色。2003年依托于两个研究单
位的合力，东南大学IC学院成立，该学院已于2004年开始招收工学硕士、工程硕士和博士研究生。
西安电子科技大学微电子学院
国家集成电路人才培
养基地
西安电子科技大学微电子学院是在原微电子研究所及技术物理学院微电
子系的基础上组建而成，是科技部资助的5个国家集成电路人才培养基地之一。
【硬件环境】3个部级重点实验室
该学院现有3个部级重点实验室
，即“宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室”、“微电路可靠性技术”和“新型半
导体材料与器件”信息产业部重点实验室，另设有EDA实践中心、超净工艺实验室等。
【师资科研】五主多从的研究小组
该学院的主要科研方向是宽禁带
半导体(GaN、SiC)材料与器件、VLSI/SOC 设计技术、超深亚微米器件可靠性与可制造性、新型
半导体工艺与新结构器件。大体分为5个研究组：702教研室，由张义门教授挂帅，主要研究方向为器件和工艺
，副院长张玉明教授也在该组，从事RF电路方面的研究；张鹤鸣老师的研究小组主要研究应变硅、高速器件等；
院长庄奕琪带领的研究小组主要从事电路、系统级的研究，如嵌入式电路、I
P核、蓝牙电路等等，另外还有一些对操作系统、解码之类的研究，似乎已经跟计算机通信联系起来了；杨英堂老
师现任发展规划处处长，他所挂帅的小组从器件、工艺到系统都涉及，项目很多，而且由于杨老师的活动能力优势
，也很容易接到各种项目；另一个比较大的组由郝跃老师带领，主要做GaAs器件的研究。
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西电的一大特色就是师资力量雄厚，过去有号称“四大金刚”的庄奕琪、杨英堂、郝跃、张义门老
师，如今更有许多年轻有为的教授加入，从2007年的研究生招生目录上面可以看出，单就招生的教授和副教授
的人数来看就有好多，研究的方向也非常广，实力不可小觑。
【招生信息】<
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2007年，微电子学院共有309人报考，录取180人；其中微电子专业有
269人报考，最终录取58人。
天津大学电子科学与技术
系
以传感器为主的科研特色
天津大学微电
子专业隶属于电子信息工程学院，下设两个机构：天津大学专用集成电路(IC)设计中心和半导体传感器研究室
。该所拥有全套的Cadence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服务器、工作
站等。
天大微电子所的科研特色主要是以传感器为主，有3个主要的研究课题
组：专用集成电路与MEMS设计课题组，带头人是姚素英教授，组成员有李斌桥、赵毅强、张为和肖夏等，其课
题研究领域很广，包括了ASIC、射频集成电路、数模混合集成电路设计、半导体传感器(压力、光电)、ME
MS系统集成以及测试和可靠性方向。其中李斌桥教授系清华电子工程系博士，在加拿大Dalsa Inc的研
究与开发部任首席科学家。新型半导体器件课题组，带头人是毛陆虹教授，包括张世林、梁惠来等，主要的研究课
题包括通信集成电路、光电集成电路、化合物半导体研究等等。军用电子材料与元器件小组，带头人是李玲霞教授
，主要有SOICMOS和BiCMOS方面的研究，也有一些光电子器件和
集
成的研究。
天大微电子专业每年的招生人数保持在50人左右，其中保送生有
15人左右(2007年实际招生57人，其中保送生15人)。
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武汉大学微电子与信息技术研究院
微电子学界的新秀
武汉大学位于风景秀丽的东湖之滨、珞珈山麓，是中国最美丽的大学之一。微
电子学研究院很年轻，成立于2004年4月，有3个实验室：电子设计自动化(EDA)实验室、集成电路与半
导体器件实验室和嵌入式系统实验室。
武大微电子研究院的研究方向包括：微纳集成电路设计、
集成电路设计软件开发(EDA)、微纳光集成电路研究、电磁场理论与通信工程、嵌入式系统、信号处理与人工
智能和MEMS等。院长王高峰是留美双博士，个人简历几乎可与业界知名人士邓中翰媲美：发表过数十篇SCI
文章，曾在美国贝尔实验室、CADENCE等顶级国际研究所和公司进行科学研究工作， 2004年回国创建
武大微电子与信息技术研究院。
武汉大学微电子研究院的研究生，都可以在课
余到武汉烽火通信公司去实习，毕业之后也能有机会留在烽火工作。
值得注意
的是，该研究院不面向校外招生，生源只来自武汉大学其他相关学院，且没有固定的招生计划。想要报考该研究院
的校内学生，需自己与院方联系。
华中科
技大学微电子专业
材料方向全国领先
华中
科大微电子专业隶属于电子科学与技术系，拥有国家集成电路人才培养基地、微电子器件与集成技术研究所、电力
电子技术研究所、微纳电子器件研究室等多个部门和实验室。主要有材料、电路和器件三个大的方向。科研课题涵
盖超大规模数模混合集成电路设计、高性能低功耗模拟电路设计、MEMS设计和集成电路工艺等领域。华中科大
微电子的材料方向在全国高校都处于领先地位，其中陶瓷材料和信息存储与薄膜技术更是领先，PTC热敏电阻系
列产业化曾获教育部科技进步一等奖和国家科技进步二等奖。
华中科大电子科
学与技术系是按系来招生，考生入校后再选专业和具体方向。2007年该系有八九十人报考，实际录取人数为3
4人(不包括校内外的保送生)，复试分数线为325分，复试比例1∶1.5，复试权重为40%。2006年
录取五六十人(不包括保送生)，报考人数有400人以上。
上海交通大学微电子学院
以处理器和电路设计为研究重点
上海交大微电子学院拥有很好的硬件设施，包括SOC系统芯片集成实验室、EDA基础教学实
验室、电路基础实验室、集成电路测试分析实验室、模拟电路/混合信号实验室等。主要以处理器和电路设计为研
究重点，当然是以培养工程型人才为主的，这点跟清
华有一些类似。该院的师资
、资金实力雄厚，毕业生中有很多去了国内外的著名IC企业(如上海通用、英特尔等)，发展前景非常好。
近年来该院微电子与固体电子学招生人数维持在三五人左右，录取比例在10%~
30%之间。
合肥工业大学微电子设计研究所
以超大规模集成电路设计见长
合肥工大微电子设计研究
所也是国内较早研究集成电路的单位之一，该所主要以超大规模集成电路设计为研究方向，其科研平台是“国家教
育部IC设计网上合作研究中心”，产业平台是“合肥工大先行微电子技术有限公司”，具体方向有超大规模AS
IC和SOC设计方法学、IP软核设计和IP评测技术。
微固专业近年来的
研究生录取人数一般在30~40人之间，其中保送生名额大约四五个。