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国家教育部去年评审九大基地的排名
1 清华（整体最强）
2 北大（工艺全国最强）
3
复旦（设计最强）
4 东南（MEMS最强）
5 西电（可靠性最强）
后面的就是
上交 华中科技 成电 浙大
1111
1111北京大学微电子学系
国家大力支持的重点学科点
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北京大学微电子学系，又称微电子学研究所(院)，有着源远流长的学术传统。1956年，由著
名物理学家黄昆院士在北大物理系领导创建了我国第一个半导体专业机构，之后在我国著名微电子专家王阳元院士
的带领下，北京大学微电子学系发展成为我国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家的重点学科点。
【硬件环境】三大重点实验室国内领先
北大微
电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工
艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室，还有MPW(多
项目晶圆)中心平台。
【师资科研】科研小组特色明显
北大微电子所下设SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、
纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，目前出任中芯国际的董事长。
SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以及
射频电路技术。黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEE EDS(Electron Device
Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成员，主要科研方
向是SOI，但同时也指导学生进行射频方面的研究。廖怀林教授专门从事RF电路方面的研究，功底深厚。该研
究组掌握了国内科研界最先进的加工技术(流片基本上采用0.13微米工艺)，研究生博士生已有多篇文章发表
在国际高水平刊物上。
SOC研究组在敦山教授领导下，拥有北京大学-
安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两大平台。于老师虽然是研究微处理
器，但在系统方面也有很深的造诣。
重视工艺是北大微电子所的传统，所里不
少老师是学物理出身的，对于器件工艺十分重视，再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此该所的微电子器件加
工工艺一直保持着国内领先水平。
新器件组在刘晓彦、康晋锋两位教授的带领
下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究。他们成功研制了多种新结构半导体器
件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性、高速互联方面都取得了一系列创新成果。在
器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。
MPW是
近两年新成立的一个研
究组，是依托北大微电学研究院的技术力量建立的一个服
务于各高校、科研、企业的平台，目前由盛世敏教授和张钢刚教授指导学生开展工作。盛教授是当年王院士的同事
，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组的研究生，有从事数电、模电工作的，也有从事ADC、提取参数、
建立模型库方面工作的。
MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组
，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加
工工艺在国内高校领先，组内的李志宏教授、张大成教授等多位老师对工艺有很深的研究。李志宏教授是MEMS
研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；张大
成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米/纳米加工实验室的负责人。该组的
“基于MEMS 技术及应用研究”曾获得2006年度国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完成人
单位”获得的国家技术发明二等奖。
【招生信息】
北大微电子学专业2007年招收硕士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。从今年开
始，没有达到微电子专业分数线的考生，只要过了北大研考理学类总分数线的都可以转报微电子工程硕士，工程硕
士招生总人数为100人。
清华大学微电子所
全国微电子学
领域首个重点学科点
22222222清华大学微电子学研究所成立于198
0年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研
究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个
重点学科点。
【硬件环境】两条集成电路工艺加工线
清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工
技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进
行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供M
OSMPW(MOS多项目晶圆)服务。
【师资科研】器件和设计实力最强<
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清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研
究领域中，该所器件和设计实力最强，研究资金丰厚。
器件方向，主要强在理
论，其研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、L
IGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由
任天令教授主管，研究方向包括ME
MS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋
电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。
工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数
模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向是：深亚微米集
成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成电路生产自动化控制等。
设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公
司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次
综合技术(原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电
路及CPU等等。集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模拟和
射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。
CAD技术研究
室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和
理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器
类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC
-CAM系统)研发等。
【招生信息】
清
华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为30～40人
。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北京、
深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。
中科院微电子所、微系统所和半导体所
以研究员为科研主力
3333333333中科院和微
电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，这3个所的师资、资金实力在国内同行中
处于领先水平。
微电子所：核心设备国内一流
中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线，“高密度等离子体刻
蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率3
0nm的JEOL JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制
版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2
电子束制版系统。在北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。
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br>该所目前共有7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统
、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性
技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也
很合理。
【招生信息】
微电子所2007
年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电子所要争取硕士招生人数达到60人。
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微系统所：两室五组，科研领域广
中科院微系统所拥有：传感
技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验室(隶属MEMS组)、信息功能材料国家重点实验室(隶
属材料组)。
微系统所主要有5个研究组：王跃林教授的MEMS组，下有微
系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEMS传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片
等；宋志棠的材料组，拥有化合物半导体器件工艺平台和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变存储器
、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理；另外3个组是SOI组、无线组和能源(电池)组。
除了这5个主要的研究组外，还有两个单独的课题组是RF和DNA。微系统所在
科研成果的产业化方面很有特色，在不久前揭晓的国家科学技术奖评选中，该所的“高端硅基SOI材料研发和产
业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。
微系统所的一个最大特点在
于研究涉及的领域很广，各个研究室之间相对独立而又不乏合作。整个微系统所是一个很完善的系统，部门之间又
有EDA与网络信息中心作为公共支撑。该所给学生提供的助研金比较多，差不多是其他科研院所的两倍，甚至其
硕士生的助研金比别的单位的博士生都高。
【招生信息】
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微系统所每年招生75人左右，其中大部分在微电子与固体电子学(47人)和通信与信息系统(
20人)，毕业生主要就业方向是国内外的大公司，如AGILENT、华为等。
半导体所：主要研究物理器件
微电子专业最初是从半导体专业中分离出来
的，目前的中科院半导体所依然保留有微电子研究和发展中心，该中心主要从事同微电子相关的半导体器件和电路
的研究，包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路、SiC高温半导体器件、微电子机械系统(
MEMS)、磁存储器(MRAM)、共振隧穿二极管(RTD)和系统集成芯片(SOC)设计及应用。可以看
出，半导体所的主要优势在于深厚的物理理论基础，主要研究领域还是器件方向，擅长半导体光电子和微电子器件
。
半导体所微电子中心每年招收的研究生不多，但毕业去向都很不错，主要去
向为国内外知名公司，成为如北京华虹NEC、上海先进半导体等公司的IC设计部门的技术骨干
44444444444电子科技大学微
电子与固体电子学
院
排头兵中的尖兵
电子科技大学位于具有
“天府之国”美誉的成都，是“211”和“985”名校之一，在2006年中国高校国际学术会议排名中名列
第四，被誉为“我国电子类院校的排头兵”。其微电子与固体电子学院拥有一支以中科院院士陈星弼领衔的包括1
6名博士生导师、27名教授在内的雄厚师资力量，与国内外相关公司、高校和研究机构有着广泛的合作关系。<
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【硬件环境】新建FAB工艺线
电子科大微
固学院的硬件设施相当不错，有国家重点实验室电子薄膜与集成器件实验室、集成电路设计中心和纳米技术中心，
还有最新建成的FAB工艺线——微细加工基地(6英寸，线宽为0.35um)。
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br>【师资科研】功率器件和功率电路研究突出
电子科大微电子专业最主要
的特色在功率器件和功率电路方面，科研方向主要有功率器件与智能功率集成电路、微电子器件与集成电路、UL
SI集成电路设计/ASIC设计与应用。功率器件与智能功率集成电路方向，由陈星弼院士和张波教授分别领导
的小组研究，但侧重点有所不同：陈院士的科研小组主要研究功率器件、功率电路、电源管理和相关的一些模拟电
路；张波教授科研小组的研究方向有电源管理(功率器件＋功率电路)和功率器件(传统硅基器件以及新材料比如
SiC基的功率器件)。微电子器件与集成电路方向在年轻的于奇教授的带领下，主要集中开发模拟电路，也有锗
硅器件、ADDC等研究方向。李平教授近年来的研究项目有电源管理、汽车电子、单片机芯片设计、铁电存储器
、FPGA等，更集中于数电。
【招生信息】
微电子专业最近两年的招生人数保持在110人左右，其中保送生约占15%。报考该专业的考生，如果发挥
不好，则有优先权可以转到固体电子专业，另外也可以转到工程硕士的集成电路方向，相应的录取分数线可以降低
60～70分。据悉，近两年转到集成电路方向的学生比较多。
5555555555东南大学射光所和微电子所
优势互补，各有所长<
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东南大学的微电子研究比较特殊，既有以射频闻名的射光所，又有在MEMS方
向颇具实力的微电子所。射光所下属于在无线电系，而微电子所则下属于电子工程系。两个研究所各有所长，优势
互补。
射光所：国内知名的高技术研究中心
射光所，即射频光电集成电路研究所，是由教育部和东南大学在1997年联合筹建的高技术研究所，属“21
1”工程项目。在国家教育部、科技部等有关方面的支持下，如今已发展成为国内外知名的射频与超高速光电集成
电路人才培养和高技术研究中心。
东南射光所的前任所长，同时也是创建人的
王志功教授，是从德国归
国工作的微电子光电子专家，在国内射频和光电集成电
路方面的造诣首屈一指，在学术界也享有盛名。
射光所的主要研究方向包括射
频集成电路、微波毫米波集成电路、光电集成电路、光纤通信集成电路、ULSI、生物用集成电路等等。射频集
成电路方向主要由李智群博士负责，研究内容包括移动通信及无线接入系统用射频集成电路，包括低噪声放大器、
混频器、振荡器、功率放大器等。微波毫米波集成电路设计方向由王志功教授亲自负责，研究内容涉及HEMT移
相器、GaAs HBT 压控振荡器和单片集成电路上的关键元件的研究等。光电集成电路方向，是射光所的一
大特色，主要是关于光电转换一系列集成电路技术的研究。生物用集成电路技术，是将集成电路技术和生物学医学
相结合的一个方向，射光所在这方面的研究也是很有优势的。
微电子所：ME
MS教育部重点实验室
东南大学微电子所建有国家专用电路系统工程技术研究
中心和微电子机械系统教育部重点实验室，其MEMS实验室属于教育部重点实验室。黄庆安教授的《硅微机械加
工技术》，到目前为止还是国内最好的MEMS中文参考书。由于没有自己的生产加工线，黄老师把研究重点放到
了不太耗资金但前景不错的MEMS CAD方向，具体包括VLSI器件物理与新型器件研究、超大规模集成电
路与系统CAD设计与应用、智能传感与微电子机械系统研究和微电子系统与专用集成电路设计和固态电子学及其
技术。
【招生信息】
综合来看，射光所强
在电路，而微电子所强在器件，一个学校两个部门都具有相当实力，不能不说是东南大学的一大特色。2003年
依托于两个研究单位的合力，东南大学IC学院成立，该学院已于2004年开始招收工学硕士、工程硕士和博士
研究生。
66666666666西安电子科技大学微电子
学院
国家集成电路人才培养基地
西安电子
科技大学微电子学院是在原微电子研究所及技术物理学院微电子系的基础上组建而成，是科技部资助的5个国家集
成电路人才培养基地之一。
【硬件环境】3个部级重点实验室
该学院现有3个部级重点实验室，即“宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室”、“微电
路可靠性技术”和“新型半导体材料与器件”信息产业部重点实验室，另设有EDA实践中心、超净工艺实验室等
。
【师资科研】五主多从的研究小组
该学
院的主要科研方向是宽禁带半导体(GaN、SiC)材料与器件、VLSI/SOC 设计技术、超深亚微米器
件可靠性与可制造性、新型半导体工艺与新结构器件。大体分为5个研究组：702教研室，由张义门教授挂帅，
主要研究方向为器件和工艺，副院长张玉明教
授也在该组，从事RF电路方面的
研究；张鹤鸣老师的研究小组主要研究应变硅、高速器件等；院长庄奕琪带领的研究小组主要从事电路、系统级的
研究，如嵌入式电路、IP核、蓝牙电路等等，另外还有一些对操作系统、解码之类的研究，似乎已经跟计算机通
信联系起来了；杨英堂老师现任发展规划处处长，他所挂帅的小组从器件、工艺到系统都涉及，项目很多，而且由
于杨老师的活动能力优势，也很容易接到各种项目；另一个比较大的组由郝跃老师带领，主要做GaAs器件的研
究。
西电的一大特色就是师资力量雄厚，过去有号称“四大金刚”的庄奕琪、
杨英堂、郝跃、张义门老师，如今更有许多年轻有为的教授加入，从2007年的研究生招生目录上面可以看出，
单就招生的教授和副教授的人数来看就有好多，研究的方向也非常广，实力不可小觑。
【招生信息】
2007年，微电子学院共有309人报考，录取18
0人；其中微电子专业有269人报考，最终录取58人
7
77777777777天津大学电子科学与技术系
以传感器为主的科研特色
天津大学微电子专业隶属于电子信息工程学院，下设两个机构：天津大学专用
集成电路(IC)设计中心和半导体传感器研究室。该所拥有全套的Cadence、Synopsys、Men
tor Graphics和ADS服务器、工作站等。
天大微电子所的科研
特色主要是以传感器为主，有3个主要的研究课题组：专用集成电路与MEMS设计课题组，带头人是姚素英教授
，组成员有李斌桥、赵毅强、张为和肖夏等，其课题研究领域很广，包括了ASIC、射频集成电路、数模混合集
成电路设计、半导体传感器(压力、光电)、MEMS系统集成以及测试和可靠性方向。其中李斌桥教授系清华电
子工程系博士，在加拿大Dalsa Inc的研究与开发部任首席科学家。新型半导体器件课题组，带头人是毛
陆虹教授，包括张世林、梁惠来等，主要的研究课题包括通信集成电路、光电集成电路、化合物半导体研究等等。
军用电子材料与元器件小组，带头人是李玲霞教授，主要有SOICMOS和BiCMOS方面的研究，也有一些
光电子器件和集成的研究。
天大微电子专业每年的招生人数保持在50人左右
，其中保送生有15人左右(2007年实际招生57人，其中保送生15人)。
888888888888武汉大学微电子与信息技术研究院
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br>微电子学界的新秀
武汉大学位于风景秀丽的东湖之滨、珞珈山麓，是中
国最美丽的大学之一。微电子学研究院很年轻，成立于2004年4月，有3个实验室：电子设计自动化(EDA
)实验室、集成电路与半导体器件实验室和嵌入式系统实验室。
武大微电子研
究院的研究方向包括：微纳集成电路设计、集成电路设计软
件开发(EDA)、
微纳光集成电路研究、电磁场理论与通信工程、嵌入式系统、信号处理与人工智能和MEMS等。院长王高峰是留
美双博士，个人简历几乎可与业界知名人士邓中翰媲美：发表过数十篇SCI文章，曾在美国贝尔实验室、CAD
ENCE等顶级国际研究所和公司进行科学研究工作， 2004年回国创建武大微电子与信息技术研究院。
武汉大学微电子研究院的研究生，都可以在课余到武汉烽火通信公司去实习，毕业
之后也能有机会留在烽火工作。
值得注意的是，该研究院不面向校外招生，生
源只来自武汉大学其他相关学院，且没有固定的招生计划。想要报考该研究院的校内学生，需自己与院方联系
99999999999华中科技大学微电子
专业
材料方向全国领先
华中科大微电子专
业隶属于电子科学与技术系，拥有国家集成电路人才培养基地、微电子器件与集成技术研究所、电力电子技术研究
所、微纳电子器件研究室等多个部门和实验室。主要有材料、电路和器件三个大的方向。科研课题涵盖超大规模数
模混合集成电路设计、高性能低功耗模拟电路设计、MEMS设计和集成电路工艺等领域。华中科大微电子的材料
方向在全国高校都处于领先地位，其中陶瓷材料和信息存储与薄膜技术更是领先，PTC热敏电阻系列产业化曾获
教育部科技进步一等奖和国家科技进步二等奖。
华中科大电子科学与技术系是
按系来招生，考生入校后再选专业和具体方向。2007年该系有八九十人报考，实际录取人数为34人(不包括
校内外的保送生)，复试分数线为325分，复试比例1∶1.5，复试权重为40%。2006年录取五六十人
(不包括保送生)，报考人数有400人以上。
AAAAA
AAAAAA上海交通大学微电子学院
以处理器和电路设计为研究重点
上海交大微电子学院拥有很好的硬件设施，包括SOC系统芯片集成实验室、EDA
基础教学实验室、电路基础实验室、集成电路测试分析实验室、模拟电路/混合信号实验室等。主要以处理器和电
路设计为研究重点，当然是以培养工程型人才为主的，这点跟清华有一些类似。该院的师资、资金实力雄厚，毕业
生中有很多去了国内外的著名IC企业(如上海通用、英特尔等)，发展前景非常好。
近年来该院微电子与固体电子学招生人数维持在三五人左右，录取比例在10%～30%之间。
BBBBBBBBBBBB合肥工业大学微电子设
计研究所
以超大规模集成电路设计见长
合
肥工大微电子设计研究所也是国内较早研究集成电路的单位之一，该所主要以超大规模集成电路设计为研究方向，
其科研平台是“国家教育部IC设计网上合作研究中心”，产业平台是“合肥工大先行微电子技
术有限公司”，具体方向有超大规模ASIC和SOC设计方法学、IP软核设计和IP评测技术
。
微固专业近年来的研究生录取人数一般在30～40人之间，其中保送生名
额大约四五个。
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东南大学 天津大学 华中科技大学 武汉大学
东南大学集成电路学院2010年集成电路设计招生目录
招生年份：2010年 专业代码：080920
研究方向 考试科目 复试 备 注
01集成电路器件与工艺
02数模混合集成电路
03通信与信息处理集成电路
04系统芯片与嵌入
式系统 ①101政治理论（含法律硕士）
②201英语（含法律硕士）
③3
01数学一
④928电子技术基础（数、模） 543微机系统与接口技术 ★
东南大学集成电路学院2010年集成电路设计参考书目
考试科目 参考书 编著者 出版社 备注
928电子技术基础 《电子技术基础（数字、模拟）》 康华光 高等教育出版社
点击购买
928电子技术基础 《计算机结构与逻辑设计》 黄正瑾 高等教育出版社
点击购买 或
928电子技术基础 《电子电路基础》 刘京南 电子工业出版社
点击购买
543[复试]微机系统与接口技术
《微型计算机系统原理及应用（第三版）》 杨素行 清华大学出版社 点击购买
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华中科技大学电子科学与技术系2009年半导体芯
片系统设计与工艺招生目录
招生年份：2009年
本院系招收人数：97 专业代码：080920
研究方向 考试科目 复试 备
注
01集成电路设计与嵌入式系统
02SOC设计与验证
03微传感器与微执行器
04小尺寸半导体器件
05半导体微加工、封装与测
试
06生物芯片技术 ①101政治
②201英语
③301
数学一
④830固体物理831电子技术基础（830、831选一）
电子材料物理、微机原理与单片机应用基础任选一门 ★”号为自设专业；“▲”号为有博士学位授权专业
华中科技大学电子科学与技术系2009年半导体芯片系统设计与工艺参考书目
考试科目 参考书 编著者 出版社 版次
830固体物理学 《固体物理导论（原著第8版）》 [美]基泰尔 化学工业出版社
点击购买 2005
830固体物理学 《固体物理学》 黄昆原著、韩汝琦改编
高等教育出版社 点击购买 2002
831电子技术基础 《电子技术基础》
康华光、陈大钦 高等教育出版社 点击购买
[复试]电子材料物理
《电子材料物理》 点击购买
[复试]微机原理与单片机应用基础
《微机原理与单片机应用》 点击购买
天
津大学
西安电子科技大学